薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

    NdGaO3是近十年中发展起来的新型基片,主要用作高温超导体(如YBCO)及磁性材料的外延薄膜生长用基片。由于NdGaO3与YBCO的晶格失配很小(~0.27%),且无结构相变,在NdGaO3基片上可外延生长质量良好的薄膜。

    主要性能参数
    晶体结构
    正交
    晶胞参数Å
    a=5.43、b=5.50、c=7.71
    熔点
    1600℃
    密度
    7.57g/cm3
    介电常数
    25
    生长方法
    提拉法
    尺寸
    10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
    Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
    厚度
    0.5mm,1.0mm
    抛光
    单面或双面
    晶向
    <100>  <110>  <111>
    晶面定向精度:
    ±0.5°
    边缘定向精度:
    2°(特殊要求可达1°以内)
    斜切晶片
    可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
    Ra:
    ≤5Å(5µm×5µm)
    包装
    100级洁净袋,1000级超净室
    X

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