薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

    铝酸锶镧晶体从熔点温度直至低温下均无孪晶及相变,与高温超导体YBCO具有相同的结构,<001>面与其它衬底相比与YBCO<001>具有适中的晶格失配(2.5~3.5%),同时该晶体的热膨胀系数比其它钙钛矿结构的晶体低,可以在较低的温度下沉积薄膜从而改善晶格失配及减少应力。


    参数:

    铝酸锶镧
    生长方法 提拉法
    晶体结构 四方(a=3.756Å,c=12.63Å)
    密度 5.92g/cm3
    纯度 99.99%
    介电常数 16.8
    晶向 <001>、<100>±0.5o,或特殊方向
    尺寸 15×15×0.5mm,10×10×0.5mm 10×5×0.5mm, 5×5×0.5mm
    抛光 单面或双面抛光
    表面粗糙度 ≤5Å
    封装 100级超净袋、单片或多片晶元盒
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