薄膜衬底

薄膜衬底 金属单晶 陶瓷基片 特种玻璃 溅射靶材

薄膜衬底

发布日期:2020-04-28  浏览次数:0

    掺铁钛酸锶与钛酸锶单晶具有相似的结构。钛酸锶单晶与多种钙钛矿物质结构材料晶格匹配好,是高温超导薄膜与多种氧化物薄膜优质的衬底材料,同时还广泛应用于特殊光学窗口及高质量的溅射靶材。目前我们可以提供掺铁浓度为:0.04%,0.05%的Fe:SrTiO3单晶基片。

    主要性能参数

    晶系

    方晶系

    生长方法

    火焰法

    晶格常数

    a=3.905Å

    掺铁浓度(Fe%)

    0.005%,0.04%

    熔点(℃)

    2080

    密度

    5.122(g/cm3

    硬度

    6-6.5mohs

    热膨胀系数(/℃)

    9.4×10-6

    介电常数

    ε=5.20

    化学稳定性

    在水中不溶解

    热膨胀系数

    10.4×10-6/k

    正切损耗

    ~5×10-4300k) ~3×10-477k

    尺寸

    10×3m、10×5m、10×10mm、15×15mm、20×15mm

    可按照客户需求,定制特殊方向和尺寸的基片

    厚度

    0.5mm、1.0mm

    尺寸公差

    <±0.1mm

    厚度公差

    <±0.015mm特殊要求可达到<±0.005mm)

    抛光

    单面或双面

    晶面定向精度

    ±0.5°

    边缘定向精度

    2°(特殊要求可达到1°以内)

    取向

    <100>、<110>、<111>等

    包装

    100级洁净袋,1000级超净室

    X

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