
简单的说,靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。金属材料溅射靶材是目前应用最广的靶材。本公司提供的金属靶材是通过简单熔炼成形、磁悬浮熔炼、热等静压成型、冷等静压成型等不同工艺制备而成。产品纯度好,密度高,晶粒均匀细致,使用寿命长。
发布日期:2022-02-12 浏览次数:0
简单的说,靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。金属材料溅射靶材是目前应用最广的靶材。本公司提供的金属靶材是通过简单熔炼成形、磁悬浮熔炼、热等静压成型、冷等静压成型等不同工艺制备而成。产品纯度好,密度高,晶粒均匀细致,使用寿命长。
简单的说,靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。有金属类、合金类、氧化物类等等。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜...铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。金属材料溅射靶材是目前应用最广的靶材。本公司提供的金属靶材是通过简单熔炼成形、磁悬浮熔炼、热等静压成型、冷等静压成型等不同工艺制备而成。产品纯度好,密度高,晶粒均匀细致,使用寿命长。
靶材参数:
材料纯度 |
99.99% |
|||
材料密度 |
100% |
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|
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靶材形状 |
圆形靶材 |
旋转靶材 |
矩形靶材 |
拼接靶材 |
最大尺寸 |
200mm |
Ø200×60mm |
200×200mm |
200×1000mm |