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主要性能参数
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晶体结构
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正交
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晶胞参数Å
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a=5.43、b=5.50、c=7.71
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熔点
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1600℃
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密度
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7.57g/cm3
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介电常数
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25
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生长方法
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提拉法
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尺寸
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10x3,10x5,10x10,15x15,,20x15,20x20,
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Ф15,Ф20,Ф1″,Ф2″,Ф2.6″
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厚度
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0.5mm,1.0mm
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抛光
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单面或双面
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晶向
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<100> <110> <111>
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晶面定向精度:
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±0.5°
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边缘定向精度:
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2°(特殊要求可达1°以内)
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斜切晶片
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可按特定需求,加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜(倾斜角1°-45°)的晶片
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Ra:
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≤5Å(5µm×5µm)
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包装
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100级洁净袋,1000级超净室
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